Apa teknik utama untuk mengukur kinerja optik chip?
Tinggalkan pesan
1. Teknologi Pengukuran Spektrometer
Spektrometer adalah instrumen presisi yang dapat mengukur sifat spektral suatu zat. Dalam pengukuran kinerja optik chip, spektrometer dapat digunakan untuk mengukur spektrum refleksi optik dan spektrum transmisi permukaan chip atau di dalamnya, sehingga dapat memperoleh karakteristik optik chip. Spektrometer memiliki keunggulan dari presisi tinggi dan respons cepat, dan merupakan salah satu alat penting untuk mengukur sifat optik chip.
2. Teknologi Pengukuran Ellipsometer
Ellipsometer adalah semacam instrumen presisi yang digunakan untuk mengukur sifat optik ketebalan film tipis dan indeks bias pada permukaan bahan. Film tipis adalah salah satu struktur umum dalam proses pembuatan chip. Ellipsometer dapat secara akurat mengukur ketebalan dan indeks bias film tipis pada permukaan chip, yang memberikan dasar penting untuk desain optik chip. Hasil pengukuran ellipsometer akurat dan andal, dan banyak digunakan dalam karakterisasi dan analisis sifat optik chip.
