Apa teknik deteksi spektral yang umum dan aplikasinya?
Tinggalkan pesan
1. Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) :digunakan untuk mendeteksi komposisi kimia dan struktur molekul bahan chip, dengan menganalisis spektrum serapan cahaya inframerah, mengidentifikasi kelompok fungsional spesifik, dan menilai jenis dan kemurnian material
2. Spektroskopi Raman :Teknik pengujian non-destruktif untuk mendapatkan informasi getaran molekuler dari suatu bahan dengan menganalisis perubahan energi setelah hamburan foton, cocok untuk kontrol kualitas bahan semikonduktor
3. Spektroskopi ultraviolet-terlihat (UV-vis) :Evaluasi sifat penyerapan cahaya dari permukaan chip, deteksi kontaminan, ketebalan oksida, dan sifat permukaan lainnya
4. Spektroskopi fluoresensi :Mendeteksi elemen atau senyawa tertentu pada chip dan mengidentifikasi pengotor jejak dengan panjang gelombang spesifik cahaya yang dipancarkan setelah eksitasi
5. Near Infrared Spectroscopy (NIR) :Mengukur konsentrasi dan komposisi suatu bahan dan sering digunakan untuk mendeteksi bahan kimia dengan puncak penyerapan spesifik di daerah inframerah dekat
